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内容简介
印度电影还愿之旅下载剧情介绍:……“2001年9月19日提升光刻机分辨率的方法有三个，缩短波长，增加数值孔径，减小K1因子。前段时间，江大带来的浸没式光刻机概念，可以大大提升折射率，从而增加数值孔径。为了更好的配合全新的浸没式光刻机概念，我们与长光所合作，在激光器上实现了巨大突破。我们研发了一种高功率193nm准分子激光器，使用氟气、氩气以及氦气混合气体作为工作介质，可输出ArF最大脉冲激光能量424毫焦耳，总功率基本稳定在1%。激光器由内径8.4cm的玻璃钢圆筒做成，总长94cm。电极采用张氏均匀场型面电极，电极有效平取宽5mm，电极长80cm，两电极之间距离2.1cm。”此时的长春实验室。“王院士，相关影视:印度电影还愿之旅下载
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